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J-GLOBAL ID：200903034367307690

薄膜熱物性測定法

Inventor： 古池 正史 ,  鈴木 徹也 ,  太田 弘道 ,  羽鳥 仁人
Applicant, Patent owner： 株式会社ベテル
Agent (1)： 中野 佳直
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002283735
Publication number (International publication number)：2004117286
Application date： Sep. 27, 2002
Publication date： Apr. 15, 2004
Summary：

【課題】不透明な基板上に成膜した薄膜の熱物性値の測定法の提供。【解決手段】レーザー熱物性顕微鏡を用いて基板の熱物性値が既知の薄膜材料の薄膜の特性時間に対する加熱光変調周波数Hと位相遅れδの関係(δ-H曲線)を測定するステップと、このステップにおいて極大値又は極小値を持つδ-H曲線を求めるステップと、極大値又は極小値を持つδ-H曲線から極値をとる点における位相遅れを求めるステップと、予め計算された熱浸透率比と極値をとる点における位相遅れの関係を用いて、極大値又は極小値を持つδ-H曲線から求めた極値をとる点における位相遅れに対する熱浸透率比を求めるステップとから成る。

Claim (excerpt)：

レーザー熱物性顕微鏡を用いて基板の熱物性値が既知の薄膜材料の薄膜の特性時間に対する加熱光変調周波数Hと位相遅れδの関係(δ-H曲線)を測定するステップと、 前記ステップにおいて極大値又は極小値を持つδ-H曲線を求めるステップと、 前記極大値又は極小値を持つδ-H曲線から極値をとる点における位相遅れを求めるステップと、 予め計算された熱浸透率比と極値をとる点における位相遅れの関係を用いて、前記ステップで求めた位相遅れから熱浸透率比を求めるステップと、 から成る薄膜熱物性測定法。

IPC (2)：

G01N25/18 ,  G01N21/47

FI (2)：

G01N25/18 H ,  G01N21/47 Z

F-Term (24)：

2G040AA00 ,  2G040AB08 ,  2G040BA08 ,  2G040BA21 ,  2G040CA12 ,  2G040CA23 ,  2G040CB12 ,  2G040EA06 ,  2G040EB02 ,  2G040EC02 ,  2G040ZA05 ,  2G059AA03 ,  2G059BB10 ,  2G059EE02 ,  2G059FF03 ,  2G059FF08 ,  2G059GG01 ,  2G059GG06 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ13 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM04