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J-GLOBAL ID：200903034389748371

レジスト材用単量体および酸解離性樹脂

Inventor： 西久保 忠臣 ,  亀山 敦 ,  工藤 宏人
Applicant, Patent owner： JSR株式会社 ,  学校法人神奈川大学
Agent (1)： 和気 操
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002133995
Publication number (International publication number)：2003327686
Application date： May. 09, 2002
Publication date： Nov. 19, 2003
Summary：

【要約】【課題】 放射線に対する透明性が高く、レジストに要求される基本性能を満たすレジストを形成するための単量体および化学増幅型レジストに用いられる酸解離性樹脂の提供を目的とする。【解決手段】 アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる酸解離性樹脂は、式(5)で表される繰り返し単位を主として含有する。【化1】(ここでR1は炭化水素、脂環族炭化水素、またはフッ素原子を含む2価の有機基であり、R2はフッ素原子を含む2価の有機基である。)

Claim (excerpt)：

下記式(1)で表されるレジスト材用単量体。【化1】(ここでR1は炭化水素、脂環族炭化水素、またはフッ素原子を含む2価の有機基である。)

IPC (4)：

C08G 65/00 ,  C07C 43/225 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 601

FI (4)：

C08G 65/00 ,  C07C 43/225 C ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 601

F-Term (21)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB41 ,  2H025FA17 ,  4H006AA01 ,  4H006AB46 ,  4H006GP03 ,  4H006GP20 ,  4J005AB00 ,  4J005BA00 ,  4J005BB01 ,  4J005BB02