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J-GLOBAL ID：200903034393035380

面発光集積素子とその製造方法

Inventor： 杉本 満則
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 本庄 伸介
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991357876
Publication number (International publication number)：1993175615
Application date： Dec. 25, 1991
Publication date： Jul. 13, 1993
Summary：

【要約】【目的】 任意の発振波長分布が実現可能な面発光集積素子を提供する。【構成】 まず1回目の成長時に第1DBR反射膜2、中間層3、電流阻止層5を成長する。成長後フォトエッチングにより、複数の異なる幅の開口部10を形成する。次に、2回目の成長を行い、第2DBR反射膜6、キャップ層7を形成する。この結晶成長時に、開口部の凹部上では、成長速度が、開口部の大きさによって異なる性質がある為、異なる幅の開口部10上には、異なる厚みの第2DBR反射膜6が成長する。このように、異なる大きさの開口部10上では、第2DBR反射膜の厚みが異なるため、そこでの垂直キャビティの共鳴波長がちがってくる。そのため、複数の異なる幅の開口部10に対応した、異なるレーザ発振波長の面発光素子の集積素子が実現する。

Claim (excerpt)：

少なくとも2つ以上の面発光素子を集積した面発光集積化素子において、第1導電型の第1DBR反射膜と、主たる発光領域である活性層を含む中間層と、第1導電型の電流阻止層と、第2導電型の第2DBR反射膜と、前記電流阻止層が部分的に除去されてなる2つ以上の電流開口部とを有し、前記中間層が前記第1DBR反射膜と前記電流阻止層にはさまれており、前記電流阻止層が前記中間層と第2DBR反射膜との間に設置されており、1つの面発光素子においては前記電流開口部の1つを通じて前記活性層に通電することによってレーザ発振を行い、異なる前記電流開口部の幅を有する面発光素子を有し、この幅の異なる面発光素子間で発振波長が異なることを特徴とする面発光集積素子。

IPC (3)：

H01S 3/18 ,  H01L 27/15 ,  H01L 21/203