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J-GLOBAL ID：200903034404882977

可動板を有するスピンコーター

Inventor： 高木 慎一郎 ,  土井 敏
Applicant, Patent owner： 株式会社芝浦製作所
Agent (1)： 木内 光春
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992078052
Publication number (International publication number)：1993283326
Application date： Mar. 31, 1992
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】 可動板の動作性を高めると共に、ワークの端面及び裏面への表面被覆剤の付着を防止できる可動板を有するスピンコーターを提供する。【構成】 本発明のスピンコーターには、ワーク10に接触可能な可動板19が設けられ、この可動板19にはカム溝19bが形成され、回転テーブル11を下方から覆う下カップ16には開閉可能な貫通穴20が設けられ、下カップ16の下方には貫通穴20を貫通して可動板19を移動させるカムピン26が設けられ、このカムピン26を上下方向に移動させるロッドレスシリンダ27及びカムピン26を水平方向にスライドさせる水平駆動シリンダ30が設けらいている。

Claim (excerpt)：

ワークを載置可能な回転テーブルと、この回転テーブルの駆動手段と、前記ワークの表面に対して表面被覆剤を滴下する滴下手段と、前記回転テーブルを上側から覆う上カップと、前記回転テーブルを下側から覆う下カップとを具備したスピンコーターにおいて、前記回転テーブルには可動板が前記ワークに対して接離するように移動可能に設けられ、前記可動板には、前記ワーク端面に接触可能な接触辺と、この接触辺をワーク端面に接離させるように設けられたカム溝とが形成され、前記上カップの上方または下カップの下方には前記カム溝に挿通可能なカムピンが設けられ、更に前記カムピンを上下方向に移動させる昇降手段及びカムピンを水平方向にスライドさせるスライド手段が設けられたことを特徴とする可動板を有するスピンコーター。

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  B05C 5/00 101 ,  B05C 11/08 ,  B05D 1/40 ,  G03F 7/16 502