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J-GLOBAL ID:200903034433697720
液晶表示装置及びその製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
小池 隆彌
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998085399
Publication number (International publication number):1999281992
Application date: Mar. 31, 1998
Publication date: Oct. 15, 1999
Summary:
【要約】【課題】 絵素電極とドレイン電極との接続部であるコンタクト部で断線等を防ぐことを目的とする。【解決手段】 有機樹脂膜からなる層間絶縁膜10を成膜し、フォトリソグラフィ技術を用いてドレインコンタクトホール12等の層間絶縁膜10の不要部分を削除する。次に透過電極材料を成膜し、フォトリソグラフィ技術を用いて透過電極材料をパターニングし透過電極8を形成する。本実施形態では該透過電極材料にITO(In-Sn-0)を用いた。次に反射電極材料を成膜し、フォトリソグラフィ技術によって反射電極材料をパターニングし反射電極11を形成する。本実施形態では、反射電極11にAlを用いた。
Claim (excerpt):
絶縁性基板上に形成されたスイッチング素子と、該スイッチング素子上に形成された層間絶縁膜と、該層間絶縁膜の前記スイッチング素子上に形成されたコンタクト部を介して前記スイッチング素子と電気的に接続された反射電極及び透過電極とを備えた液晶表示装置において、前記コンタクト部上には前記反射電極が形成されていることを特徴とする液晶表示装置。
IPC (3):
G02F 1/1343
, G02F 1/1335 520
, G02F 1/136 500
FI (3):
G02F 1/1343
, G02F 1/1335 520
, G02F 1/136 500
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
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液晶表示装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-116899
Applicant:カシオ計算機株式会社
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