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J-GLOBAL ID：200903034443142549

マイクロポンプ及びマイクロバルブの製造方法

Inventor： 荒川 克治
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991150306
Publication number (International publication number)：1993001669
Application date： Jun. 21, 1991
Publication date： Jan. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】 Si基板の片面加工のみで製造し、ポンプの小型化及び集積化を可能とするマイクロポンプとそのマイクロバルブ製造方法を提供する。【構成】 本発明は窒化膜を選択的酸化のマスクとして酸化膜を成長させて犠牲層とし、この犠牲層上に金属またはポリシリコンの薄膜を形成し、エッチングにより犠牲層である酸化膜を除去することによって、金属またはポリシリコンのダイヤフラムを形成しマイクロバルブを構成することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

Si基板上に形成された薄膜からなり、シール部、変位部、固定部を有するマイクロバルブにおいて、流体が通過するための貫通孔がシール部に形成される吐出側バルブと、該貫通孔が変位部に形成される吸入側バルブと前記吐出側バルブ及び吸入側バルブのシール部と接してバルブ機能をもたらすもう一つの基板を備えることを特徴とするマイクロポンプ。

IPC (2)：

F04B 43/04 ,  F04B 9/00