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J-GLOBAL ID:200903034480121829
ガスセンサ
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
石井 紀男
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995097806
Publication number (International publication number):1996271466
Application date: Mar. 30, 1995
Publication date: Oct. 18, 1996
Summary:
【要約】【目的】 温湿度依存性が小さく、かつガス選択性に優れたセンサを得る。【構成】 同等の感ガス特性と温湿度依存性を持つ複数の感ガス素子を同一基板上に設け、各々の感ガス素子の外部にガスの選択的透過の手段を設けた。
Claim (excerpt):
同等の感ガス特性と温湿度依存性を持つ複数の感ガス素子を同一基板上に設け、各々の感ガス素子の外部にガスの選択的透過の手段を設けたことを特徴とするガスセンサ。
IPC (3):
G01N 27/12
, G08B 17/10
, G08B 21/00
FI (4):
G01N 27/12 B
, G01N 27/12 C
, G08B 17/10 F
, G08B 21/00 W
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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特開昭50-155292
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特開昭51-143394
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特開昭63-195553
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