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J-GLOBAL ID：200903034535640472
透明な非晶性の水素添加された硬質チッ化ホウ素膜及びその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
浅村 皓 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995149231
Publication number (International publication number)：1996041633
Application date： Jun. 15, 1995
Publication date： Feb. 13, 1996
Summary：
【要約】【目的】 穏やかな条件下で、水素添加されたチッ化ホウ素(a-BN:H)からなる透明な非晶性硬質膜を基体上に供給する方法及びそのように供給された膜の提供。【構成】 基体上に、非晶性の水素添加されたチッ化ホウ素(a-BN:H)からなる透明な硬質膜を製造する方法において、該方法はボラジンからなるガス状前駆体から生成させられたイオン流れから、約200°C未満の温度下で凝縮によって該基体上に該膜を蒸着させることからなり、かつ該イオンの運動エネルギーが1イオン当たり50〜300電子ボルトであることを特徴とする前記製造方法。
Claim (excerpt)：
基体上に、水素処理した非晶質窒化ホウ素(a-BN:H)から成る透明な硬質膜を製造する方法において、ボラジンから成るガス状前駆体から生じたイオン流れを濃縮することによって、約200°C未満の温度で前記基体上に前記膜を析出させる工程からなり、しかも、前記イオンの運動エネルギーが1イオン当り50〜300eVである、上記方法。
IPC (4)：
C23C 14/32
, C23C 14/06
, C23C 16/38
, C23C 16/50
