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J-GLOBAL ID：200903034535679263

リン酸カルシウム質膜の形成方法

Inventor： 小川 賢治 ,  大和田 仁 ,  山下 仁大
Applicant, Patent owner： 小野田セメント株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993108711
Publication number (International publication number)：1994287008
Application date： Mar. 30, 1993
Publication date： Oct. 11, 1994
Summary：

【要約】【目的】 任意のCa/P比のリン酸カルシウム質膜を基材上に形成する。【構成】 リン酸カルシウム系ガラスをスパッタリング用ターゲット材とし、これをスパッタリングして基材上に非晶質のリン酸カルシウム質膜を形成する。また、この非晶質のリン酸カルシウム質膜を加熱処理すると結晶質のリン酸カルシウム質膜とすることができる。

Claim (excerpt)：

スパッタリング用ターゲットとしてリン酸カルシウム系ガラスを用い、スパッタリングにより基材上に非晶質のリン酸カルシウム質膜を形成することを特徴とするリン酸カルシウム質膜の形成方法。

IPC (2)：

C01B 25/32 ,  C23C 14/34