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J-GLOBAL ID：200903034569705883

位置決め装置、及び露光装置

Inventor： 小野 一也
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998049170
Publication number (International publication number)：1999251409
Application date： Mar. 02, 1998
Publication date： Sep. 17, 1999
Summary：

【要約】【課題】 ウエハを高精度に位置決めする。【解決手段】 ウエハベース30上で駆動されるXYステージ8上にZ駆動部10A,10B、及び板ばね11A,11B等を介してテーブル保持部50A,50B等を支持し、テーブル保持部50A,50B等の中にテーブル6を挟み込んで支持する。テーブル6の中央部の変形中立面の近傍に、ウエハホルダ7を介してウエハWを吸着保持し、ウエハWを覆うように投影光学系PLの一部の補正板4を取り付け、テーブル6の底面に静電アクチュエータ23A〜23Cを配置する。XYステージ8を大まかに位置決めした後、静電アクチュエータ23A〜23Cを介してテーブル6を高精度に位置決めすると共に、ウエハWの表面を投影光学系PLの像面に合焦させるように、Z駆動部10A,10B等を介してテーブル6のフォーカス位置、及び傾斜角を制御する。

Claim (excerpt)：

ベースと、位置決め対象物が載置されると共に前記ベースに対して少なくとも1自由度を持つ方向に移動自在に配置されたテーブルと、該テーブルの位置を計測する位置計測装置と、該位置計測装置の計測値に基づいて前記テーブルを前記ベースに対して駆動する駆動装置と、を有する位置決め装置において、前記位置決め対象物の載置面が前記テーブルの変形中立面の近傍に設定されていることを特徴とする位置決め装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (5)：

H01L 21/68 K ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 516 B ,  H01L 21/30 520 A