金属酸化物薄膜の形成方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小島隆司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992307565
Publication number (International publication number)：1994136162
Application date： Oct. 21, 1992
Publication date： May. 17, 1994
Summary：

【要約】【構成】金属アルコキシド溶液を基体に塗布し、この塗膜を乾燥、熱処理して上記金属アルコキシドを加水分解、縮合することにより上記基体上に金属酸化物薄膜を形成させる過程で、上記塗膜に対し紫外線照射処理を行うことを特徴とする金属酸化物薄膜の形成方法。【効果】本発明によれば、比較的低温度で簡単かつ確実に金属酸化物薄膜を形成でき、特にプラスチックフィルムへの金属酸化物薄膜形成に有効である。

Claim (excerpt)：

金属アルコキシド溶液を基体に塗布し、この塗膜を乾燥、熱処理して上記金属アルコキシドを加水分解、縮合することにより上記基体上に金属酸化物薄膜を形成させる過程で、上記塗膜に対し紫外線照射処理を行うことを特徴とする金属酸化物薄膜の形成方法。

IPC (3)：

C08J 7/04 , C01B 13/14 , C09D183/02 PMN

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平1-111880
特開昭62-295931
複合プラスチツクシート
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-355383 Applicant：株式会社ケミトロニクス

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