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J-GLOBAL ID：200903034623135443
3次元構造体の製造方法およびその製造用部品
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
田中 清
, 村山 みどり
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002356397
Publication number (International publication number)：2004188513
Application date： Dec. 09, 2002
Publication date： Jul. 08, 2004
Summary：
【課題】適用材料種が豊富で、低コスト、高生産性および高精度を実現できる3次元構造体の製造方法および3次元構造体製造用部品を提供する。【解決手段】本製造方法は、ドナー基板400上に所定のパターンを有する複数のレイヤー4a〜4dを形成し、アクセプター基板500を用いて各レイヤー4a〜4dを順次ドナー基板上400から剥離してアクセプター基板上に転写積層する。ドナー基板400とレイヤー4a〜4dとの間には外部エネルギーによりレイヤー側の接着面の接着強度が低下する中間層401が設けられる。各レイヤーをドナー基板400上から剥離する際に、中間層401の接着強度低下を誘起するため例えばステージ302に取り付けた抵抗加熱器700より外部エネルギーを供給する。【選択図】 図5
Claim (excerpt)：
ドナー基板上に所定のパターンを有する複数のレイヤーを形成する第1の工程と、アクセプター基板を用いて各レイヤーを順次ドナー基板上から剥離してアクセプター基板上に転写積層する第2の工程とを含む3次元構造体の製造方法であって、前記ドナー基板とレイヤーとの間に外部エネルギーによりレイヤー側の接着面の接着強度が低下する中間層を設け、前記レイヤーをドナー基板上から剥離する際に、前記中間層に接着強度低下を誘起する外部エネルギーを供給することを特徴とする3次元構造体の製造方法。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (8)：
4F213WA25
, 4F213WA53
, 4F213WA58
, 4F213WA83
, 4F213WA86
, 4F213WB01
, 4F213WL02
, 4F213WL56
