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J-GLOBAL ID：200903034624990681

オゾン分解器

Inventor： 小森 詳弘 ,  小櫻 優
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 西岡 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993241778
Publication number (International publication number)：1995096135
Application date： Sep. 28, 1993
Publication date： Apr. 11, 1995
Summary：

【要約】【目的】 オゾン分解器のオゾン分解試薬即ち充填剤の劣化をモニタできるようにすること。【構成】 オゾン分解器の一部に充填剤の発熱温度を検出する手段を設け、オゾン分解反応に伴う発熱量をモニタすることにより、前記充填剤の劣化を判定するようにしたオゾン分解器

Claim (excerpt)：

オゾンを分解するための触媒を含む活性炭などの充填剤を収容した容器の一部に、その充填剤の発熱温度を検出する手段を設け、オゾン分解反応に伴う発熱量をモニタすることにより、前記充填剤の劣化を判定するようにしたことを特徴とするオゾン分解器。

IPC (3)：

B01D 53/86 ZAB ,  G01N 25/20 ,  H01L 21/304 341