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J-GLOBAL ID：200903034634331147
弾性表面波素子
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996127544
Publication number (International publication number)：1997312547
Application date： May. 22, 1996
Publication date： Dec. 02, 1997
Summary：
【要約】【課題】 従来のダイヤモンドを用いた弾性表面波素子の構造は、ダイヤモンド層を形成した後に電極層を形成するため、ダイヤモンド層を平坦にする必要がある。この平坦化は研磨等により行われるが、ダイヤモンド層は高硬度であるため研磨に非常に時間がかかるという課題がある。さらにダイヤモンド層の上に圧電体層を形成するため、圧電体層の膜質が悪く伝播損失が大きいという課題を有している。【解決手段】 非圧電性の基板1及びダイヤモンド層4、電極層3、圧電体層2よりなる弾性表面波素子において、基板1側から第1層を圧電体層2、第2層を電極層3、第3層をダイヤモンド層4とする。また、電極層3を銅、あるいは銅とシリコンの合金で形成する。
Claim (excerpt)：
非圧電性基板及びダイヤモンド層、電極層、圧電体層よりなる弾性表面波素子において、非圧電性基板側から第1層が圧電体層、第2層が電極層、第3層がダイヤモンド層であることを特徴とする弾性表面波素子。
IPC (2)：
FI (2)：
H03H 9/25 C
, H03H 9/145 C
