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J-GLOBAL ID：200903034645007414

温度調整回路付き薬液弁

Inventor： 菅沼 達美 ,  井本 幸男 ,  大杉 滋
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝 ,  シーケーディ株式会社
Agent (1)： 富澤 孝 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992359778
Publication number (International publication number)：1994201065
Application date： Dec. 28, 1992
Publication date： Jul. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】 薬液弁のボディに耐腐食性樹脂を使用した場合でも、内部を流れる薬液の温度変化を小さくすることが可能な薬液弁を供給することを目的とする。【構成】 温度調整回路付き薬液弁11は、薬液Fが流入される入力ポート18と、薬液Fが流出する出力ポート19と流体通路29とを形成するボディ41が樹脂で成形されると共に、ボディ41が流体通路の近傍に温度調整用の流体が流れる温度調整回路17を有している。

Claim (excerpt)：

流体が流入される入力ポートと、流体が流出する出力ポートと、入力ポートから出力ポートとを連通させる流体通路と、流体通路上にあって作動気体の圧力で駆動されるダイヤフラムにより開閉されて、該入力ポートと該出力ポートの連通を切り換える弁体とを有する薬液弁において、前記入力ポートと前記出力ポートと前記流体通路とを形成するボディが樹脂で成形されると共に、前記ボディが前記流体通路の近傍に温度調整用の流体が流れる温度調整回路を有することを特徴とする温度調整回路付き薬液弁。

IPC (3)：

F16K 25/04 ,  F16K 31/126 ,  F16K 49/00