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J-GLOBAL ID:200903034729067706
表面欠陥検査装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
八田 幹雄 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997112784
Publication number (International publication number):1998300446
Application date: Apr. 30, 1997
Publication date: Nov. 13, 1998
Summary:
【要約】【課題】 表面光沢の低いワークの表面欠陥を人手によらず、かつ確実に検出することができる表面欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 ワーク50表面にストライプ画像を投影する投影装置11と、ストライプ画像が投影されたワーク50表面を撮像する撮像カメラ12と、撮像カメラ12によって得られた画像から、ワーク50の表面状態を検査する検査装置において、投影装置11が投影するストライプの投影角度を可変することができる支持具30と、撮像カメラ12によって得られたストライプ画像のピッチの変化量を求める演算装置と、を有することを特徴とする表面欠陥検査装置。
Claim (excerpt):
ワーク表面にストライプ画像を投影する投影手段と、該ストライプ画像が投影されたワーク表面を撮像する撮像手段と、前記投影手段が投影するストライプ画像の投影角度を可変する可変手段と、前記撮像手段によって得られたストライプ画像のピッチの変化量を求める演算手段と、を有することを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (4):
G01B 11/30
, G01B 11/02
, G01N 21/88
, G06T 7/00
FI (4):
G01B 11/30 C
, G01B 11/02 H
, G01N 21/88 Z
, G06F 15/62 400
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