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J-GLOBAL ID：200903034743983626

半導体装置およびその製造方法

Inventor： 原 義博 ,  齋藤 徹 ,  高木 剛 ,  久保 実
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 前田 弘 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001352691
Publication number (International publication number)：2003152177
Application date： Nov. 19, 2001
Publication date： May. 23, 2003
Summary：

【要約】【課題】 チャネル領域のキャリアが移動する方向に作りつけ電界が形成された電界効果トランジスタ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 第1活性領域101a及びトレンチ分離領域105に跨って設けられた第1エピタキシャル成長部151は、第1中央Si膜102aと、第1SiGe膜103aと、第1外側Si膜104aと、第1Siキャップ層106aと、第1熱酸化膜107aと、ゲート電極108とを備えている。第1エピタキシャル成長部151において、ゲート電極108の内側方にソース領域109が、ゲート電極108の外側方にドレイン領域110が、ゲート電極108の下方にチャネル領域117が設けられている。チャネルを走行するキャリアの走行を加速して動作速度の高い電界効果トランジスタを有する半導体装置が得られる。

Claim (excerpt)：

基板と、上記基板上に形成された半導体層と、上記半導体層の上に形成されたゲート電極とを有する電界効果トランジスタを備え、上記半導体層は、上記ゲート電極の下方に位置するチャネル領域と、該チャネル領域の両側に位置するソース領域及びドレイン領域とを有しており、上記チャネル領域のチャネル方向に平行な断面において、キャリアが走行するバンド端のエネルギーレベルは、バイアス非印加状態においてキャリアの走行を加速する方向に傾斜していることを特徴とする半導体装置。

IPC (9)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/338 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/08 331 ,  H01L 27/092 ,  H01L 29/161 ,  H01L 29/786 ,  H01L 29/812

FI (7)：

H01L 21/205 ,  H01L 27/08 331 E ,  H01L 29/78 301 B ,  H01L 29/163 ,  H01L 27/08 321 C ,  H01L 29/80 B ,  H01L 29/78 618 B

F-Term (101)：

5F045AA07 ,  5F045AB01 ,  5F045AB02 ,  5F045AB06 ,  5F045AC01 ,  5F045AC08 ,  5F045AD09 ,  5F045AF02 ,  5F045AF03 ,  5F045CA05 ,  5F045DB02 ,  5F045DB04 ,  5F048AC03 ,  5F048AC10 ,  5F048BA14 ,  5F048BA16 ,  5F048BB05 ,  5F048BC11 ,  5F048BC15 ,  5F048BD01 ,  5F048BD09 ,  5F102GB01 ,  5F102GC01 ,  5F102GD01 ,  5F102GD10 ,  5F102GJ10 ,  5F102GL02 ,  5F102GL16 ,  5F102GL18 ,  5F102GM02 ,  5F102HC01 ,  5F102HC07 ,  5F110AA01 ,  5F110AA02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC04 ,  5F110DD05 ,  5F110EE02 ,  5F110EE05 ,  5F110EE08 ,  5F110FF02 ,  5F110FF23 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG04 ,  5F110GG07 ,  5F110GG12 ,  5F110GG19 ,  5F110GG22 ,  5F110GG25 ,  5F110GG28 ,  5F110GG37 ,  5F110GG44 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL03 ,  5F110HM03 ,  5F110NN02 ,  5F110NN71 ,  5F110NN72 ,  5F110NN74 ,  5F140AA01 ,  5F140AA12 ,  5F140AB01 ,  5F140AB03 ,  5F140AB06 ,  5F140AB07 ,  5F140AB09 ,  5F140AB10 ,  5F140AC01 ,  5F140AC28 ,  5F140BA01 ,  5F140BA02 ,  5F140BA05 ,  5F140BA06 ,  5F140BA07 ,  5F140BA08 ,  5F140BA17 ,  5F140BA20 ,  5F140BB18 ,  5F140BC12 ,  5F140BC13 ,  5F140BE07 ,  5F140BF01 ,  5F140BF04 ,  5F140BF05 ,  5F140BF08 ,  5F140BF54 ,  5F140BG32 ,  5F140BG37 ,  5F140BH04 ,  5F140BH06 ,  5F140BH27 ,  5F140BH30 ,  5F140BH43 ,  5F140BJ27 ,  5F140BK13 ,  5F140BK21 ,  5F140CB04 ,  5F140CE07