Pat
J-GLOBAL ID：200903034795016004
電子顕微鏡及びその焦点位置制御方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
吉武 賢次 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001182060
Publication number (International publication number)：2002373611
Application date： Jun. 15, 2001
Publication date： Dec. 26, 2002
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 試料の有する特性に依存することなく、焦点位置合わせと非点収差補正を行う。【解決手段】第1焦点位置(f1)と第1焦点位置から既知の焦点はずれ量Δfだけずれた第2焦点位置(f2)との2つの焦点位置を像伝達関数K(r,f)に代入して第1伝達関数値K(r;f)と第2伝達関数値K(r;f+Δf)を得、第1伝達関数値K(r;f1)と第2伝達関数値K(r;f+Δf)とを空間周波数面(u,v)で互いに除算して、理論除算量K(r;f)/K(r;f+Δf)を求め、理論除算量の集合として焦点位置と空間周波数の関数として予め作成して記憶した除算量データ12と、除算量データ(12)を参照し、実測除算量Rexpに相関する理論除算量K(r;f0)/K(r;f0+Δf)を求め、求めた理論除算量に該当する焦点位置f0を第1焦点位置f1として求める第2演算手段(13)とを備えている。
Claim (excerpt)：
電子ビームを試料に導くための電子光学系と、前記試料に対し前記電子光学系の焦点位置を制御するための焦点制御部と、前記試料に照射される電子ビームに起因する画像を検出する画像検出部と、第1焦点位置と前記第1焦点位置からずれた焦点位置であって所定物理量を既知量だけ変化させて実現する第2焦点位置との2つの焦点位置で前記画像検出部によって検出した第1画像と第2画像の各々を空間周波数変換し、第1変換像と第2変換像を得、前記第1変換像と前記第2変換像とを空間周波数面で互いに除算し、除算結果を空間周波数の関数として表した実測除算量を求める第1演算手段と、前記電子光学系に対する像伝達関数を焦点位置と空間周波数の関数として求め、前記既知量だけ互いにずれた2つの前記所定物理量を前記像伝達関数に代入して第1伝達関数値と第2伝達関数値を得、前記第1伝達関数値と前記第2伝達関数値とを空間周波数面で互いに除算し、理論除算量を求め、前記理論除算量の集合として焦点位置と空間周波数の関数として予め作成した除算量データと、前記除算量データを参照し、空間周波数に対する関数特性が前記実測除算量に相関する前記理論除算量を求め、求めた理論除算量に該当する焦点位置を前記第1焦点位置として求める第2演算手段と、を備え、前記第2演算手段の演算結果に基づき前記焦点制御部によって前記電子光学系の焦点位置を制御することを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (4)：
H01J 37/21
, G02B 7/28
, H01J 37/153
, H01J 37/22 501
H01J 37/21 A
, H01J 37/153 A
, H01J 37/22 501 Z
, G02B 7/11 J
2H051AA11
, 5C033HH01
, 5C033LL03
