Pat

J-GLOBAL ID：200903034818542140

マイクロ波放電光源装置

Inventor： 田嶋 直樹
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995015886
Publication number (International publication number)：1996212982
Application date： Feb. 02, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明は、安定した放電・発光により大面積高輝度の照射を行う。【構成】4つのマイクロ波発振器10〜13により発振された各マイクロ波を導波管18の各スリット30〜32を通して3つのマイクロ波共振空洞体33〜35に入射して石英放電管39内の放電発光物を励起し、放電・発光させ、この場合、制御装置40により4つのマイクロ波発振器10〜13からマイクロ波を交互に発振制御、又は同時にマイクロ波を発振制御する。

Claim (excerpt)：

マイクロ波を発振する複数のマイクロ波発振器と、これらマイクロ波発振器を相互に接続してこれらマイクロ波発振器により発振された各マイクロ波を導く導波管と、この導波管におけるE面に形成された少なくとも1つのスリットと、これらスリットごとに設けられた複数のマイクロ波共振空洞体と、これらマイクロ波共振空洞体に設けられ、前記導波管より導かれた前記マイクロ波の励起により放電発光する放電発光物質が封入されたランプと、を具備したことを特徴とするマイクロ波放電光源装置。