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J-GLOBAL ID：200903034832052326

液晶表示装置の製造装置およびその方法

Inventor： 西尾 幹夫
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 岩橋 文雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999290666
Publication number (International publication number)：2001108977
Application date： Oct. 13, 1999
Publication date： Apr. 20, 2001
Summary：

【要約】【課題】 従来のバッチ式洗や枚葉式洗浄方式では、洗浄中に基板表面より除去された異物が再付着しやすく、高い異物除去効果が得られないという課題がある。【解決手段】 枚葉式で基板の洗浄,ウェットエッチング,レジスト剥離等を行う洗浄装置であって、基板の平面は進行方向に水平に対して5〜30°上向きの傾斜をもって設置され、基板は水平に対して5〜30°の傾斜をもって上昇しながら移動する構成とする。

Claim (excerpt)：

枚葉式で基板の洗浄,ウェットエッチング,レジスト剥離等を行う洗浄装置であって、基板の平面は進行方向に水平に対して5〜30°上向きの傾斜をもって設置され、基板は水平に対して5〜30°の傾斜をもって上昇しながら移動することを特徴とする液晶表示装置の製造装置。

IPC (4)：

G02F 1/1333 500 ,  B08B 11/04 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 338

FI (4)：

G02F 1/1333 500 ,  B08B 11/04 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 338

F-Term (22)：

2H088EA02 ,  2H088FA17 ,  2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090HC18 ,  2H090JC19 ,  3B116AA02 ,  3B116AB14 ,  3B116AB23 ,  3B116BB24 ,  3B116BB33 ,  3B116BB83 ,  3B116CC01 ,  3B116CC03 ,  3B116CD34 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435GG46 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10