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J-GLOBAL ID：200903034832876450

流体塗布装置

Inventor： 平田 満 ,  馬場 義人
Applicant, Patent owner： 平田機工株式会社 ,  シプレイ・ファーイースト株式会社
Agent (1)： 中野 雅房
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993154409
Publication number (International publication number)：1994339655
Application date： May. 31, 1993
Publication date： Dec. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】 スロット型の流体塗布装置(スロット式粘液噴出塗布装置)において、塗膜の膜厚を幅方向において均一化する。【構成】 分割ヘッドには、塗布液12を塗布ヘッド55内に供給する塗布液注入口105と、塗布液注入口105から注入された塗布液12を塗布ヘッド12の幅方向に拡散させるための流体リザーバ104と、流体リザーバ104の両端部から塗布液12を排出させるための塗布液排出口106を設ける。また、分割ヘッド101,102間に挟まれたシム103の切欠状凹部112によって分割ヘッド101,102間にスロット116を形成する。塗布液注入口105から注入した塗布液12は流体リザーバ104内で幅方向に広がり、スロット116で一定の膜厚に整えられて流出する。このとき、塗布液排出口106から塗布液12を排出することにより、流体リザーバ104の両端部の圧力を下げ、塗膜の膜厚を均一化する。

Claim (excerpt)：

塗布ヘッド内に流体を注入するための流体注入口と、塗布ヘッド内に幅方向に沿って形成され、該流体注入口から注入された流体を塗布ヘッドの幅方向に拡散させるための空洞部と、該空洞部内の流体を一定の厚みにして流出させるためのスロットとを備えた流体塗布装置において、前記空洞部内の少なくとも一部に臨ませて流体を排出させるための流体排出口を設けたことを特徴とする流体塗布装置。

IPC (3)：

B05C 5/02 ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-296463
  
• 特開平3-202171
  
• 特公昭60-053674