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J-GLOBAL ID：200903034833905845
二次イオン質量分析計
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993224177
Publication number (International publication number)：1995078589
Application date： Sep. 09, 1993
Publication date： Mar. 20, 1995
Summary：
【要約】【構成】収束系に第一の偏向電極9、および、その位置を任意に移動させることができる第二の偏向電極10を組み込み、収束レンズ系2で収束,整形された一次イオン6を第一の偏向電極9に導入し、一次イオン6の進行方向を変化させる。そして、一次イオン6を、収束レンズ系2とは必ずしも同軸ではない位置に移動させた第二の偏向電極10に導入し、さらに一次イオン6の進行方向を変化させて、試料3上に任意の角度で入射させる。【効果】二次イオンの質量分析計への取り込まれやすさを変化させることなく、二次イオンの検出効率を一定とし、一次イオンの試料への入射角を0°から90°付近までの任意の角度に決定することを可能にし、これにより感度や深さ方向分解能を向上させることができる。
Claim (excerpt)：
一次粒子を収束させて試料上に照射し、前記試料と前記一次粒子との相互作用により発生する二次イオンを質量分析する装置において、前記試料の表面と前記二次イオン引き出し系の位置関係を保持したまま前記一次粒子の前記試料の表面に入射する角度を変更する手段を設けたことを特徴とする質量分析装置。
IPC (3)：
H01J 49/06
, H01J 37/252
, H01J 49/10
