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J-GLOBAL ID：200903034840565405

形状検査機能付きレーザ加工装置

Inventor：
渡辺 裕之

About 渡辺 裕之


Applicant, Patent owner：
イビデン株式会社

About イビデン株式会社


Agent (1)： 岡戸 昭佳 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999303719
Publication number (International publication number)：2001121279
Application date： Oct. 26, 1999
Publication date： May. 08, 2001
Summary：
【要約】【課題】 加工跡の形状をインラインでモニタして加工条件に反映させることができる形状検査機能付きレーザ加工装置を提供すること。【解決手段】 レーザ加工装置1は、加工対象である基板5を載置するとともに水平面内で移動可能な加工テーブル2と、レーザ加工ヘッド3と、レーザ加工ヘッド3に固定されレーザ加工ヘッド3とともに上下方向に移動可能な計測部4とを備える。そして、計測部4において基板5上に形成された穴の位置および断面形状等を検知することができる。このため、レーザ加工ヘッド3による穴加工が終了したときに、基板5を加工テーブル2から取り外すことなく、基板5上に形成された穴の断面形状を確認することができる。すなわち、加工された穴の深さをインラインで確認することができる。
Claim (excerpt)：
平板状の対象物にレーザ光を照射して加工を行うレーザ加工装置において、対象物を載置する載置テーブルと、前記載置テーブル上の対象物にレーザ加工を施すレーザ加工ヘッドと、前記載置テーブル上の対象物の表面の凹凸をモニタする凹凸モニタ手段とを有し、前記凹凸モニタ手段のモニタ結果を前記レーザ加工ヘッドの加工条件に反映させることを特徴とする形状検査機能付きレーザ加工装置。
IPC (4)：
B23K 26/02 ,  B23K 26/00 ,  G01B 11/24 ,  H05K 3/00
FI (4)：
B23K 26/02 C ,  B23K 26/00 P ,  H05K 3/00 N ,  G01B 11/24 A
F-Term (34)：
2F065AA02 ,  2F065AA03 ,  2F065AA24 ,  2F065AA25 ,  2F065AA27 ,  2F065AA51 ,  2F065AA52 ,  2F065BB01 ,  2F065CC01 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF44 ,  2F065GG05 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065NN20 ,  2F065PP02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR06 ,  2F065SS01 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  4E068AF00 ,  4E068CA08 ,  4E068CA17 ,  4E068CB09 ,  4E068CC02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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