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J-GLOBAL ID：200903034865382127
集束イオンビーム装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997001825
Publication number (International publication number)：1998199460
Application date： Jan. 09, 1997
Publication date： Jul. 31, 1998
Summary：
【要約】【課題】 高い倍率であってもノイズの影響を著しく少なくし、高分解能の像を得ることができる集束イオンビーム装置を実現する。【解決手段】 走査信号発生回路7からの走査信号はスイッチ回路22に供給されるが、低倍率の観察時、例えば、100倍〜1万倍の範囲では、制御回路21からの制御により、スイッチ回路22は端子aに切換えられる。この結果、従来装置と同様に、イオンビームは静電型偏向器6a,6bによって偏向され、試料の2次元領域を走査する。倍率が1万倍以上の場合、制御回路21からの制御により、スイッチ回路22は端子bに切換えられる。この結果、電磁型偏向器20a,20bにはイオンビームを2次元的に走査するための偏向電流が供給される。
Claim (excerpt)：
イオンビームを集束レンズによって試料上に細く集束すると共に、偏向器によってイオンビームを2次元的に走査し、試料へのイオンビームの照射によって発生した信号を検出し、検出信号をイオンビームの走査に同期した陰極線管に供給して試料像を表示するようにした集束イオンビーム装置において、偏向器として静電型偏向器と電磁型偏向器を設け、像の倍率に応じて2種の偏向器を切換えて使用するようにした集束イオンビーム装置。
IPC (3)：
H01J 37/147
, H01J 37/256
, H01J 37/28
H01J 37/147 D
, H01J 37/256
, H01J 37/28 Z
