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J-GLOBAL ID:200903034925107007
湿度センサーおよび湿度の測定方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
渡辺 徳廣
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998234919
Publication number (International publication number):2000056039
Application date: Aug. 07, 1998
Publication date: Feb. 25, 2000
Summary:
【要約】【課題】 製造工程に高温処理を要せず、小型で感度がよく、且つ安価な湿度センサーを提供する。【解決手段】 空気中の水分を透過する微粒子電極4と対向電極5の間に、該微粒子電極と接して主たるキャリア担体が正孔である酸化物層3と、透過した水分を吸着し、該水分を前記電極間に直流電圧を印加することにより電気分解して生成したH+ イオンとOH- イオンを保持する吸水性酸化物層2と、該吸水性酸化物層2に保持されたH+ イオンを吸引するブロンズ酸化物層1とを有し、かつ前記電極間に直流電圧を印加することにより生成したH+ イオンとOH- イオンの分極を、微粒子電極と対向電極間に交流電圧を印加して電極間のインピーダンスを測定することにより検出し、インピーダンスから空気中の水分量を測定する湿度検出手段12を具備する湿度センサー。
Claim (excerpt):
空気中の水分を透過する微粒子電極と、それに対向する対向電極の一対の電極間に、該微粒子電極と接して水分を透過しOH- イオンを吸引する主たるキャリア担体が正孔である酸化物層と、その透過した水分を吸着し、該水分を前記電極間に直流電圧を印加することにより電気分解して生成したH+イオンとOH- イオンを保持する吸水性酸化物層と、該吸水性酸化物層に保持されたH+ イオンを吸引するブロンズ酸化物層とを有し、かつ前記電極間に直流電圧を印加することにより吸水性酸化物層に生成したH+ イオンはキャリア担体が正孔である酸化物層に吸引され、OH- イオンはブロンズ酸化物層に吸引されて生成した分極を、前記微粒子電極と対向電極間に交流電圧を印加して電極間のインピーダンスを測定することにより検出し、該インピーダンスから空気中の水分量を測定する湿度検出手段を具備することを特徴とする湿度センサー。
IPC (2):
FI (2):
G01W 1/11 F
, G01N 27/02 B
F-Term (13):
2G060AA01
, 2G060AB02
, 2G060AE19
, 2G060AF03
, 2G060AF06
, 2G060AG08
, 2G060AG11
, 2G060AG15
, 2G060BB09
, 2G060HA02
, 2G060HE01
, 2G060HE03
, 2G060KA04
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