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J-GLOBAL ID：200903034952980413

レンズ、特に電子顕微鏡の対物レンズの3次の開口収差を補正する装置

Inventor： ハイダー マキシミリアン ,  ウヘレマン ステハン
Applicant, Patent owner： ツェーエーオーエス コレクテッド エレクトロン オプチカル システムズ ゲーエムベーハー
Agent (1)： 飯田 幸郷 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1999537634
Publication number (International publication number)：2002510431
Application date： Aug. 29, 1998
Publication date： Apr. 02, 2002
Summary：

【要約】この発明はレンズ、特に電子顕微鏡の対物レンズの3次の開口収差を補正する装置であって、対物レンズとそれ自体周知の補正装置とから成り、その補正装置は2個のセクスターポールと、その間に配置する2個の焦点距離の等しい球面レンズとから成り、対物レンズ(2)と補正装置(1)との間に1個の球面レンズ(3)を配設し、その球面レンズ(3)を一方の側で光路が補正装置(1)について平行に入射し、他方の側で対物レンズのコマ収差のない面(16)に結像するようにするか、あるいは対物レンズと補正装置との間に2個の球面レンズを配設し、その対物レンズに近接する側の球面レンズ(14)と対物レンズのコマ収差のない面(16)との間隔を球面レンズの焦点距離に等しくし、2個の球面レンズ(14,15)の間隔をその焦点距離の和に等しくしてある。

Claim (excerpt)：

レンズ、特に電子顕微鏡の対物レンズと、光路方向の下流側に配置する補正装置とから構成するレンズの3次の開口収差を補正する装置において、前記補正装置を第一および第二のセクスターポールと、前記両セクスターポールの間に配置する2個の球面レンズとから成るものとし、前記2個の球面レンズを焦点距離が同一のものとし、前記球面レンズ相互の間隔を前記焦点距離の2倍とし、前記各球面レンズを隣接する前記セクスターポールの中心面から焦点距離に相当する間隔をとって配設し、対物レンズ(2)と補正装置(1)との間に1個の球面レンズ(3)を配設し、前記球面レンズ(3)からの光路が前記補正装置1に対して平行に入射するようにし、また前記対物レンズのコマ収差のない面(6)が前記補正装置(1)の前記セクスターポール(8)のコマ収差のない面(7)に結像するようにしたことを特徴とするレンズ、特に電子顕微鏡の対物レンズの3次の開口収差を補正する装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平3-295140
  
• 画像出力装置用露光光学系
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-220801   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
• 特開平1-200620
  
• 特開昭57-066686
  
• 特開平2-289035