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J-GLOBAL ID：200903034957914753

光重合性組成物

Inventor： 山下 克浩 ,  今橋 ▲聡▼
Applicant, Patent owner： 東洋紡績株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993117025
Publication number (International publication number)：1994332172
Application date： May. 19, 1993
Publication date： Dec. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 光重合性組成物の可視光に対する感度を向上させる。【構成】 エチレン性不飽和化合物、鉄アレン錯体、及びクマリン化合物を含む光重合性組成物。【効果】 可視光に対して高感度を示す為、低いエネルギーの露光光源を使用することができ、与えられた時間内に多数の原版を露光および現像ができる。

Claim (excerpt)：

(a)少なくとも一種の常温で非ガス状のエチレン性不飽和化合物(b)下記一般式(化1)で示される鉄アレン錯体(c)下記一般式(化2)又は(化4)で示されるクマリン化合物を少なくとも含有する事を特徴とする光重合性組成物。【化1】(式中R1 、R2 は同じか又は異なる基であり、C1〜C12のアルキル基、C2〜C12のアルキニル基、C1〜C8のアルコキシ基、シアノ基、アルキルチオ基、フェノキシ基、C2〜C6のモノカルボン酸およびエステル基、C2〜C5のアルカノイル基、アンモニウム塩、ピリジニウム基、ニトロ基、アルキルスルフィニル基、アルキルスルフォニル基、スルファモイル基ハロゲン原子より選ばれたものであり、R2はベンゼン環と縮合多環化合物を形成していてもよい。Xは、BF4、PF6、 AsF6、SbF6、FeCl4、SnCl6、SbCl6、BiCl6を示す。)【化2】(式中R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9、R10、R11、R12、R13、R14R15は、水素、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、シアノ基、カルボキシル基、アルキルオキシカルボニル基であり、Z1は、アリール基、複素環基、または化3を示す。化3のR16は、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アリール オキシ基、複素環基を示す。)【化3】【化4】(式中R17、R18、R19、R20、R21、R22、R23、R24、R25は、水素、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、シアノ基、カルボキシル基、アルキルオキシカルボニル基であり、Z2は、アリール基、複素環基、または一般式化5を示す。化5のR26は、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アリールオキシ基、複素環基を示す。)【化5】

IPC (7)：

G03F 7/029 ,  C08F 2/50 MDN ,  C08F 20/20 MMV ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/031 ,  H01L 21/027