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J-GLOBAL ID:200903034969082664
感光性樹脂組成物
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997279697
Publication number (International publication number):1999102070
Application date: Sep. 26, 1997
Publication date: Apr. 13, 1999
Summary:
【要約】【課題】 感度、解像力、密着性、耐めっきもぐり、めっきつきまわり性、レジスト剥離性に非常に優れたドライフィルムレジストに用いられる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)カルボキシル基含有ポリマー、(B)エチレン性不飽和化合物、(C)光重合開始剤、(D)ロフィン二量体、(E)ロイコ化合物を含有してなる感光性樹脂組成物において、(B)成分として特定化合物を(B)成分全体に対して3〜80重量%含有してなる感光性樹脂組成物。
Claim (excerpt):
(A)カルボキシル基含有ポリマー、(B)エチレン性不飽和化合物、(C)光重合開始剤、(D)ロフィン二量体、(E)ロイコ化合物を含有してなる感光性樹脂組成物において、(B)成分として下記(I)式で示される化合物を(B)成分全体に対して3〜80重量%含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】ここで、Rは炭素数1〜3のアルキル基又は水素で、mは1〜6の整数、nは3〜100の整数である。
IPC (4):
G03F 7/027 511
, H01L 23/50
, H05K 3/06
, H05K 3/18
FI (4):
G03F 7/027 511
, H01L 23/50 A
, H05K 3/06 H
, H05K 3/18 D
Patent cited by the Patent: