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J-GLOBAL ID:200903034975373654

回路測定用端子およびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 山下 穣平
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992161817
Publication number (International publication number):1995094558
Application date: May. 29, 1992
Publication date: Apr. 07, 1995
Summary:
【要約】【目的】 針状結晶の形成時にクラック等が生じるような導電材料であっても、配線材料として用いることを可能とする。【構成】 配線パターンと同一形状のパターンの単結晶膜2aの導電膜形成面と、該導電膜形成面に隣接する非導電膜形成面とを備えた基板1と、前記導電膜形成面内の所望の位置に形成された針状結晶4と、前記導電膜形成面上と前記針状結晶上とに形成された導電膜5,6と、を備える。
Claim (excerpt):
配線パターンと同一形状のパターンの導電膜形成面と該導電膜形成面に隣接された非導電膜形成面とを備えた基板と、前記導電膜形成面内の所望の位置に形成された針状結晶と、前記導電膜形成面上と前記針状結晶上とに形成された導電膜と、を備えた回路測定用端子。
IPC (2):
H01L 21/66 ,  G01R 1/073
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開平3-126240
  • 特開平3-209103

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