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J-GLOBAL ID：200903035011958145

ケミカルミーリング用感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム

Inventor： 石川 力 ,  木村 仁子
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 穂高 哲夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997295299
Publication number (International publication number)：1999133617
Application date： Oct. 28, 1997
Publication date： May. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】 下地金属、特に、リードフレームやメタルマスクの基板などに用いられる42アロイやSUS等の鉄系合金との密着性に優れ、精密金属加工に好適に用いられるケミカルミーリング用感光性樹脂組成物及び感光性フィルムを提供する。【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物(C)光重合開始剤、(D)一般式(I)で表されるテトラゾール化合物又はその水溶性塩及び(E)光重合性不飽和結合含有リン酸化合物を含有し、希アルカリ水溶液で現像可能なケミカルミーリング用感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム。【化1】(式中、R1及びR2は、各々独立に、水素、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、フェニル基、アミノフェニル基、炭素数7〜20のアルキルフェニル基、アミノ基、メルカプト基、炭素数1〜10のアルキルメルカプト基又は炭素数2〜10のカルボキシアルキル基を示す。)

Claim (excerpt)：

(A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤、(D)一般式(I)で表されるテトラゾール化合物又はその水溶性塩及び(E)光重合性不飽和結合含有リン酸化合物を含有し、希アルカリ水溶液で現像可能なケミカルミーリング用感光性樹脂組成物。【化1】(式中、R1及びR2は、各々独立に、水素、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、フェニル基、アミノフェニル基、炭素数7〜20のアルキルフェニル基、アミノ基、メルカプト基、炭素数1〜10のアルキルメルカプト基又は炭素数2〜10のカルボキシアルキル基を示す。)

IPC (5)：

G03F 7/085 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/029 ,  H05K 3/06

FI (5)：

G03F 7/085 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/029 ,  H05K 3/06 H