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J-GLOBAL ID：200903035024918193
X線顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉村 暁秀 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993052410
Publication number (International publication number)：1994265699
Application date： Mar. 12, 1993
Publication date： Sep. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】 試料に照射する励起用輻射線としての紫外線の波長を、観察対象に適した紫外線波長が照射されるように観察対象に応じて変更し、良好な画質の透過X線顕微鏡像を得る。【構成】 X線発生用のNd:YAGレーザ51からのレーザ光の一部をハーフミラー64で分岐し、KDP結晶66で紫外波長域の3倍高調波に変換し、オプティカルパラメトリック発振器90で紫外線波長を調整し、高調波発生器91でさらに高調波に変換し、ミラー67、集光レンズ60、ウェッジ92を経て紫外線をサンプル58に斜めに照射する。その際、観察対象の物質名等を入力して、オプティカルパラメトリック発振器90により紫外線波長を可変制御する。
Claim (excerpt)：
試料に対し励起用輻射線および軟X線を照射して該試料の透過X線顕微鏡像を撮像するX線顕微鏡において、前記励起用輻射線の波長を撮像対象に応じて変更するように構成したことを特徴とする、X線顕微鏡。
Patent cited by the Patent：
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