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J-GLOBAL ID：200903035032182830

マイクロミラー素子およびその製造方法

Inventor： 水野 義博 ,  上田 知史 ,  壷井 修 ,  佐脇 一平 ,  奥田 久雄 ,  高馬 悟覚 ,  曽根田 弘光 ,  山岸 文雄
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社 ,  富士通メディアデバイス株式会社
Agent (3)： 吉田 稔 ,  田中 達也 ,  福元 義和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002170291
Publication number (International publication number)：2004013099
Application date： Jun. 11, 2002
Publication date： Jan. 15, 2004
Summary：

【課題】製造に用いるウエハの平面サイズについての制限を低減可能なマイクロミラー素子、および、その製造方法を提供すること。【解決手段】材料基板から一体的に成形された、ミラー部111を有する可動部110,120と、フレーム部130と、当該フレーム部130および可動部110,120を連結するトーションバー150とを備えるマイクロミラー素子X1において、フレーム部130は、可動部110,120よりも厚い部位を有することとする。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

材料基板から一体的に成形された、ミラー部を有する可動部と、フレーム部と、当該フレーム部および可動部を連結するトーションバーと、を備え、 前記フレーム部は、前記可動部よりも厚い部位を有することを特徴とする、マイクロミラー素子。

IPC (3)：

G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

FI (3)：

G02B26/08 E ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

F-Term (5)：

2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• マイクロメカニカル式の装置のための製造方法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平11-533132   Applicant：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング