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J-GLOBAL ID：200903035041063797

電子線描画装置用ウエハ搬送装置

Inventor： 伊藤 博之
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高田 幸彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996134937
Publication number (International publication number)：1997320937
Application date： May. 29, 1996
Publication date： Dec. 12, 1997
Summary：

【要約】【課題】本発明の目的は信頼性が高く、ウエハの高速搬送が可能な電子線描画装置用ウェハ搬送装置を提供することにある。【解決手段】搬送ア-ム11はウエハカセット9からカセットを取り出し、回転台12に搬送し、ここでアライメントを行う。その後、ア-ム11はそのウエハを試料交換室1に搬送し、そのウエハはア-ム2によって試料ステ-ジ14に搬送され、描画される。一方、描画済みウエハはア-ム6によって試料交換室5に搬送され、更に搬送ア-ム11によってウエハカセット9に搬送され、収納される。描画済みウエハの試料ステ-ジからの搬出と新しいウエハの試料ステ-ジへの搬入は並列的に行われる。

Claim (excerpt)：

真空にされた試料室と、該試料室内に配置された試料ステ-ジと、前記試料室に隣接して設けられた第1及び第2の試料交換室と、前記試料ステ-ジと前記第1の試料交換室との間及び前記試料ステ-ジと前記第2の試料交換室との間でウエハを搬送する第1及び第2の搬送装置と、ウエハを収納するウエハカセットと、ウエハをアライメントするアライメント装置と、ウエハを前記ウエハカセットから前記アライメント装置へ搬送し、該アライメント装置から前記第1又は第2の試料交換室へ選択的に搬送し、更に該第1又は第2の試料交換室から前記ウエハカセットへ選択的に搬送する第3の搬送装置とを含んでいることを特徴とする電子線描画装置用ウエハ搬送装置。

IPC (7)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 9/00 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/68 ,  G21K 5/04

FI (7)：

H01L 21/30 541 L ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 9/00 Z ,  H01J 37/20 D ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/68 A ,  G21K 5/04 M