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J-GLOBAL ID:200903035042306260

光学的測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 蓮見 勝
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993129588
Publication number (International publication number):1994337243
Application date: May. 31, 1993
Publication date: Dec. 06, 1994
Summary:
【要約】【目的】機器の調整、保守、操作性にすぐれかつ測定光波長による影響の少ない複屈折測定装置を提供する。【構成】試料への測定光束の投射部と受光部とが試料面の同じ側に設けられ、偏光素子を通過した光が試料に投射され、試料から投射側に出て来る光を前記偏光素子を通して受光検出する方式において、測定光束と受光部とが同心状に配置され、光路切替え無く、投光、受光部を行う。
Claim (excerpt):
試料照射光束と試料からの測定光検出領域とがほぼ同心円状に配置され、同心円の一方から試料に測定光束を照射し、試料から出て同心円の他方に入射する光を検出するように構成したことを特徴とする光学的測定装置。

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