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J-GLOBAL ID：200903035047338763

ポジ型感放射線性レジスト組成物

Inventor： 森馬 洋 ,  中西 弘俊 ,  上谷 保則
Applicant, Patent owner： 住友化学工業株式会社
Agent (1)： 諸石 光▲ひろ▼ (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991287648
Publication number (International publication number)：1993127374
Application date： Nov. 01, 1991
Publication date： May. 25, 1993
Summary：

【要約】【目的】 解像度、感度及び耐熱性の諸性能のバランスの優れたポジ型感放射線性レジスト組成物を提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂、感放射線性成分及び一般式(I)【化1】(式中、R1 〜R3 は各々独立して水素原子、アルキル基またはアルコキシ基を表わし、nは1、2または3を表わす。)で示されるフェノール化合物を含有してなるポジ型感放射線性レジスト組成物。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂、感放射線性成分及び一般式(I)【化1】(式中、R1 〜R3 は各々独立して水素原子、アルキル基またはアルコキシ基を表わし、nは1、2または3を表わす。)で示されるフェノール化合物を含有してなるポジ型感放射線性レジスト組成物。

IPC (2)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027