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J-GLOBAL ID：200903035054980314
走査型プローブ顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995328970
Publication number (International publication number)：1997166603
Application date： Dec. 18, 1995
Publication date： Jun. 24, 1997
Summary：
【要約】【課題】探針と試料の相互間距離が一定に保たれた状態で測定できるSTSおよびSTPを提供する。【解決手段】カンチレバー302は、先端の探針303が金属探針301より下に位置するように、保持台300に片持支持されている。カンチレバー302の変位を検出するZ変位センサー304が保持台300に固定されている。I/V変換器311は、金属探針301に流れるトンネル電流の信号を検出する。数値演算処理装置313は、ADC312からのトンネル電流データに対して所定の演算を行ない分光データを求める。メモリー回路605は、探針試料間距離が所望値にある時のカンチレバー変位データを一時的に記憶する。サーボ回路306は、トンネル電流信号IT またはカンチレバー変位信号ΔZがサーボ基準信号S1 またはS2 と一致するように、圧電素子305をフィードバック制御する。
Claim (excerpt)：
試料面の物理的情報を検出し、その情報を電気信号に変換し出力する第1のセンサーと、上記第1のセンサーを保持する保持台と、上記保持台に保持されるとともに、上記第1のセンサーと試料表面との相互間距離を検出し、その距離を電気信号に変換し出力する第2のセンサーと、上記保持台あるいは試料を3次元方向に移動するための圧電体スキャナと、上記第2のセンサーから出力される電気信号に基づき上記第1のセンサーと試料との相互間距離をサーボ制御するサーボ制御手段と、上記第1のセンサーから出力される電気信号に所定の演算を行なうとともに視覚的情報に変換し表示する情報表示手段とを有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/28 Z
