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J-GLOBAL ID：200903035064698013

液体噴射記録ヘツド及びその製造方法

Inventor： 芝 昭二 ,  柏崎 昭夫
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991253815
Publication number (International publication number)：1993092569
Application date： Oct. 01, 1991
Publication date： Apr. 16, 1993
Summary：

【要約】【目的】 信頼性が高い液体噴射記録ヘッドを少ない工程数で製造する。【構成】 基板上に第一感光層を設け露光し、次に、感光波長の異なる第二感光層を積層し露光した後、第一感光層をパターニング処理する。

Claim (excerpt)：

液体吐出エネルギー発生部を有する基板上にパターニング処理された第一の感光性樹脂と第二の感光性樹脂からなる蓋板よりなる液流路が形成された構造を有する液体噴射記録ヘッドにおいて、第一の感光性樹脂と第二の感光性樹脂の感光波長が異なり、液流路が、第一の感光性樹脂のパターニング処理を第二の感光性樹脂の積層後に行い形成されたものであることを特徴とする前記液体噴射記録ヘッド。

IPC (5)：

B41J 2/05 ,  B41J 2/16 ,  G03F 7/008 ,  G03F 7/023 ,  G03F 7/028

FI (2)：

B41J 3/04 103 B ,  B41J 3/04 103 H