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J-GLOBAL ID：200903035067285593

プローブ

Inventor： 鈴木 美彦 ,  中野 勝志
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998130163
Publication number (International publication number)：1999326348
Application date： May. 13, 1998
Publication date： Nov. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 試料形状の正確な計測を可能とするプローブを得る。【解決手段】 カンチレバー11の先端領域に、カンチレバー11の先端方向に所定角度傾斜させて探針12を設けたプローブである。このプローブを原子間力顕微鏡に固定して測定すると、探針は試料表面に垂直になるので、試料形状を正確に測定できる。

Claim (excerpt)：

カンチレバーの先端領域に探針を設けたプローブにおいて、前記探針を前記カンチレバーの先端方向に所定角度傾斜させたことを特徴とするプローブ。