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J-GLOBAL ID：200903035070510166
除振装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
渡邉 勇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992250594
Publication number (International publication number)：1994288429
Application date： Aug. 26, 1992
Publication date： Oct. 11, 1994
Summary：
【要約】【目的】 振動を極度に嫌う機械装置が搭載された除振テーブルを非接触状態で常に水平に保持することができる除振装置を提供する。【構成】 振動を嫌う機械装置を搭載する除振テーブル1と、該除振テーブルに固定した磁性体継鉄と、該磁性体継鉄を磁気力により非接触で浮上支持する設置床6に固定した浮上用電磁石と、該浮上用電磁石と前記磁性体継鉄の隙間を測定する変位センサ5と、該変位センサからの出力を基に前記浮上用電磁石の励磁電流を出力する補償回路9、パワーアンプ10から構成されるコントローラ7を備え、前記除振テーブルを非接触で浮上支持する除振装置において、前記除振テーブルに設置した、除振テーブル1の水平からの傾斜角を検知する傾斜センサ20を備え、該傾斜センサ20からの出力を前記変位センサ5の出力に加算あるいは減算することにより、前記除振テーブルを水平に保持することを特徴とする。
Claim (excerpt)：
振動を嫌う機械装置を搭載する除振テーブルと、該除振テーブルに固定した磁性体継鉄と、該磁性体継鉄を磁気力により非接触で浮上支持する設置床に固定した浮上用電磁石と、該浮上用電磁石と前記磁性体継鉄の隙間を測定する変位センサと、該変位センサからの出力を基に前記浮上用電磁石の励磁電流を制御する補償回路、パワーアンプから構成されるコントローラとを備えた除振装置において、前記除振テーブルには除振テーブルの水平からの傾斜角を検知する傾斜センサを備え、該傾斜センサからの出力を前記変位センサの出力に加算あるいは減算することにより、前記除振テーブルを水平に保持することを特徴とする除振装置。
IPC (5)：
F16F 15/03
, F16F 15/02
, G05D 19/02
, G12B 9/08
, H01J 37/16
