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J-GLOBAL ID：200903035080702608

ウェハーキャリヤ

Inventor： カーク・ジェイ・ミッケルセン
Applicant, Patent owner： フルオロウェア・インコーポレーテッド
Agent (1)： 岡田 英彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995177719
Publication number (International publication number)：1996088266
Application date： Jul. 13, 1995
Publication date： Apr. 02, 1996
Summary：

【要約】【課題】極めて粒子発生が少なく、寸法安定性及び静電気消散性を備えた半導体ウェハーあるいは磁気メモリディスクのためのキャリヤの提供。【解決手段】キャリヤ10は対向する側壁11,12と、それらを連結する端壁13,14を有している。側壁11,12はリブを有し、リブはディスクあるいはウェハー16を軸方向に配列するための溝15を形成している。側壁11,12とリブと端壁13,14はすべて一体化されており、重量で12〜25% のカーボン繊維フィラーが添加されたポリブチルテレフタレート(PBT)で射出成形により形成される。

Claim (excerpt)：

ウェハーを保持するための少なくとも一つの溝を有するウェハーキャリヤであって、カーボン繊維が添加されたポリブチルテレフタレートから形成されているウェハーキャリヤ。