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J-GLOBAL ID：200903035085976960

DAコンバータの較正方法及びこれを用いた装置

Inventor： 秦 一成 ,  宮下 正之
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 池内 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998100072
Publication number (International publication number)：1999284511
Application date： Mar. 27, 1998
Publication date： Oct. 15, 1999
Summary：

【要約】【課題】 DAコンバータの安定度の低さから生ずる偏向位置ずれを迅速かつ簡単に較正する。【解決手段】 X,Y偏向器7a,7bを制御するディジタル値が端子1a,1bから偏向位置ずれ補正テーブル2に入力され、得られた偏向位置ずれ量が加算回路3で加算されて補正される。補正ディジタル値は、変換テーブル4で較正され、それぞれDAコンバータ5a,5bおよびアンプ6a,6bを通ってX,Y偏向器7a,7bを制御する。ここで、ストライプ描画単位等の所定単位の描画処理の合間に、端子1a,1bから、少なくともディジタル値の最大値、最小値が入力され、電圧検出器8は、DAコンバータ5a,5bからのこれらのアナログ値の電圧レベルを検出し、較正量算出部9は、検出した電圧レベルをもとにDAコンバータ5a,5bの入出力関係を求め、理想的な入出力関係との誤差を算出し、この誤差をなくすべく、変換テーブル4の較正量の内容を変更する。

Claim (excerpt)：

荷電粒子線露光装置の偏向器を制御するディジタルデータをアナログデータに変換するDAコンバータからのアナログ出力を較正する方法において、前記アナログ出力のうちの第1のアナログ出力と第2のアナログ出力を測定し、前記第1のアナログ出力及び第2のアナログ出力とこれらの出力にそれぞれ対応する第1の目標出力及び第2の目標出力との出力差をそれぞれ求め、各求められた前記出力差をもとに前記アナログ出力を較正する、ことを特徴とするDAコンバータの較正方法。

IPC (3)：

H03M 1/10 ,  B23K 15/00 502 ,  H01J 37/147

FI (3)：

H03M 1/10 D ,  B23K 15/00 502 ,  H01J 37/147 C