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J-GLOBAL ID:200903035094896987

光熱変換分光分析装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997035105
Publication number (International publication number):1998232210
Application date: Feb. 19, 1997
Publication date: Sep. 02, 1998
Summary:
【要約】【課題】 試料の2次元像を短時間で分析することができる光熱変換分光分析装置を提供する。【解決手段】 励起光源10から出射された励起光Aおよび検出光源20から出射された検出光Bは、ダイクロイックミラー30により同軸とされ、スキャナ31および32により順次反射され、顕微鏡35により試料40上に集光照射される。励起光Aおよび検出光Bは、スキャナドライバ33により制御されたスキャナ31および32により試料40上を2次元走査される。励起光Aの集光照射により形成された熱レンズに検出光Bが集光照射されると、検出光Bは熱レンズにより発散され、信号光Cとなる。信号光Cは、集光レンズ50によりピンホール51の開口部51Aに集光され、開口部51Aを通過し、フィルタ52を透過して、検出器53により受光される。
Claim (excerpt):
励起光が試料に照射されて形成される熱レンズに検出光を入射させ、前記検出光が前記熱レンズにより発散または集光されて出力された信号光に基づいて前記試料の分光分析を行う光熱変換分光分析装置であって、前記励起光を出力する励起光源と、前記検出光を出力する検出光源と、前記励起光および前記検出光を互いに同軸として前記試料に集光照射するとともに、前記試料上の集光位置を走査する照射光学系と、前記検出光の前記試料への照射に伴って発生する前記信号光を所定点に集光する集光光学系と、前記所定点に開口部を有するピンホールと、前記ピンホールの前記開口部を通過した前記信号光を検出する検出器と、を備えることを特徴とする光熱変換分光分析装置。
IPC (2):
G01N 25/16 ,  G01N 21/41
FI (2):
G01N 25/16 C ,  G01N 21/41 Z

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