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J-GLOBAL ID:200903035105694737

銅の化学溶解剤

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 斉藤 武彦 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992361657
Publication number (International publication number):1994179984
Application date: Dec. 15, 1992
Publication date: Jun. 28, 1994
Summary:
【要約】【目的】 銅の溶解速度が大で実用性の高い銅溶解剤を提供する。【構成】 過酸化水素、鉱酸、テトラゾール化合物、脂肪族アミン及び過酸化水素安定剤を組合せた水溶液により銅溶解剤を形成する。
Claim (excerpt):
過酸化水素、鉱酸、テトラゾール化合物、脂肪族アミン及び過酸化水素安定剤を必須成分として含有する水溶液からなることを特徴とする銅溶解剤。
IPC (2):
C23F 1/18 ,  C22B 15/00

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