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J-GLOBAL ID：200903035110657610

光学多層膜

Inventor： 内田 真司
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994245314
Publication number (International publication number)：1996110406
Application date： Oct. 11, 1994
Publication date： Apr. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】 従来、光学結晶で用いられていたものを、薄膜で実現することにより、光学部品の小型化、軽量化、低コスト化を実現する。【構成】 ニオブ酸リチウムの基板11上に、高屈折率の異方性薄膜としてTa2O5膜12を形成する。更にTa2O5膜の上に、図1に示したように低屈折率の薄膜たとえばMgF2膜13を形成する。

Claim (excerpt)：

基板上に少なくとも2種類の物質からなる多層薄膜を備え、少なくとも一層以上の薄膜層が光学的に異方性の薄膜である光学多層膜。