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J-GLOBAL ID：200903035174392300
変位検出装置、該変位検出装置を備えた露光装置およびデバイスの製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994060662
Publication number (International publication number)：1995270122
Application date： Mar. 30, 1994
Publication date： Oct. 20, 1995
Summary：
【要約】【目的】 2次元方向の移動量をレーザ測長器や2次元の回折格子を用いずに正確に検出する。【構成】 鏡筒2の下端部には、4つのウエハ用ヘッド21a,21b,21c,21d が取り付けられる。そのうち2つのウエハ用ヘッド21a,21b は長手方向がX方向に平行で、残りの2つのウエハ用ヘッド21c,21d は長手方向がY方向に平行となっている。各ウエハ用ヘッド21a,21b,21c,21d は、回折格子干渉の原理を用いて移動物体の移動量を検出する複数の要素ヘッドを並列配置したものである。ウエハチャック5の表面には、各ウエハ用ヘッド21a,21b,21c,21d に対応して、それぞれ1次元の回折格子が形成されたウエハ用スケール22a,22b,22c,22d が設けられる。各ウエハ用ヘッド21a,21b,21c,21dと各ウエハ用スケール22a,22b,22c,22d とにより、ウエハチャック5の鏡筒2に対するXY平面上での移動量を検出する。
Claim (excerpt)：
光源から放射される可干渉性光束を1次元の回折格子に入射させ、前記回折格子で回折した特定次数の回折光を互いに干渉させて干渉縞を形成し、前記干渉縞の明暗の数を検出するヘッドを有する変位検出装置において、それぞれ前記ヘッドが複数個並列配置された少なくとも一対のヘッドユニットが互いに直交して配置されるとともに、前記回折格子が、前記ヘッドユニットのそれぞれに対向して設けられていることを特徴とする変位検出装置。
IPC (3)：
G01B 11/00
, H01L 21/027
, H01L 21/68
