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J-GLOBAL ID：200903035177296213

表面弾性波素子の製造方法

Inventor： 八郷 昭広 ,  中幡 英章 ,  鹿田 真一 ,  藤森 直治
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 深見 久郎 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991249746
Publication number (International publication number)：1993090861
Application date： Sep. 27, 1991
Publication date： Apr. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ダイヤモンドを用いた表面弾性波素子について大量生産を容易にする方法を提供する。【構成】 少なくとも表面にダイヤモンド層を有する複数の単位素子材21をダイヤモンド面を上にして平坦な基板20上に接着する工程と、基板20上に接着された複数の単位素子材21についてダイヤモンド面を研磨する工程と、研磨されたダイヤモンド面上に圧電体層および電極を形成する工程とを備える方法。

Claim (excerpt)：

少なくとも表面にダイヤモンド層を有する複数の単位素子材をダイヤモンド面を上にして平坦な基板上に接着する工程と、前記基板上に接着された複数の単位素子材について前記ダイヤモンド面を研磨する工程と、研磨された前記ダイヤモンド面上に、圧電体層および電極を形成する工程とを備える、表面弾性波素子の製造方法。

IPC (2)：

H03H 3/08 ,  H03H 9/25