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J-GLOBAL ID：200903035199845164

フィルタ装置

Inventor： 大谷 正美
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 間宮 武雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998100308
Publication number (International publication number)：1999283913
Application date： Mar. 27, 1998
Publication date： Oct. 15, 1999
Summary：

【要約】【課題】 既設の処理液供給配管にも、脱気機能や気体溶存機能を有する部材を容易に取り付けることができ、配管の取回しが最小限で済んで装置間の互換性を保つことができ、処理液供給装置の小型化および低コスト化を図ることができるフィルタ装置を提供する。【解決手段】 処理液流入口36、処理液流出口38および通気口62を有する密閉容器30の内部に平面状のパーティクル除去部材32を配設し、気体のみを透過させる気体透過膜材で通気路が形成されその通気路が通気口62に連通した平面状の気体透過部材34を密閉容器30の内部に配設して、通気口62を減圧手段または気体供給手段に連通させた。

Claim (excerpt)：

基板に所定の処理を行う基板処理部へ処理液を供給する処理液供給装置の処理液供給配管に介在して設けられたフィルタ装置であって、処理液流入口および処理液流出口ならびに減圧手段または気体供給手段と連通された通気口を有する密閉容器と、前記密閉容器を処理液流入側と処理液流出側とに仕切るように配設された平面状のパーティクル除去部材と、前記密閉容器の内部に配設され、前記通気口に連通された通気路を形成し、気体のみを透過させる気体透過膜材を有する平面状の気体透過部材とを備えたことを特徴とするフィルタ装置。

IPC (6)：

H01L 21/027 ,  B01D 19/00 ,  B01D 29/00 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/304 643

FI (7)：

H01L 21/30 569 C ,  B01D 19/00 H ,  B01D 29/00 A ,  G03F 1/08 X ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/304 643 A ,  H01L 21/30 564 C