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J-GLOBAL ID：200903035212176242

感光液塗布装置

Inventor： 大竹 康久 ,  佐合 誠司 ,  穐吉 英一 ,  喜多 信夫
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 則近 憲佑
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993211142
Publication number (International publication number)：1994310031
Application date： Aug. 26, 1993
Publication date： Nov. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】 金属薄板の幅方向および長手方向で均一な厚さのレジスト膜を形成することができる塗布装置を提供することを目的とする。【構成】 塗布装置は、長尺でその長さ方向に走行する金属薄板1 の表面に転接する周面を有するコーティングローラー21a を備えている。所定の膜厚の感光性樹脂液6aがパイプドクタノズル22a によって上記コーティングローラー21a の周面に塗布される。コーティングローラー21a はモータによって金属薄板1 の走行方向と逆方向に回転させられ、コーティングローラー21a の周面に塗布された感光樹脂液6aを金属薄板1 に転写し塗布する。モータの回転は、金属薄板1 の走行速度とコーティングローラー21a の周速との比が所定の値となるように制御される。

Claim (excerpt)：

カラー陰極線管のシャドウマスクの製造に用いられる長尺な金属薄板にレジスト膜を形成するための感光液を塗布する感光液塗布装置において、上記金属薄板をその長さ方向に走行させる手段と、上記金属薄板の表面に転接する周面を有するコーティングローラーと、上記コーティングローラーの周面に感光液を所定の厚さに塗布する感光液供給手段と、上記コーティングローラーを上記金属薄板の走行方向と逆方向に回転させ、上記コーティングローラーの周面に塗布された感光液を上記金属薄板の上記表面に連続的に転写し塗布する駆動手段と、上記金属薄板の走行速度と上記コーティングローラーの周速との比が所定の値となるように前記駆動手段を制御する制御手段と、を具備することを特徴とする感光液塗布装置。