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J-GLOBAL ID：200903035220865162
位置決め装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992153548
Publication number (International publication number)：1993347351
Application date： Jun. 12, 1992
Publication date： Dec. 27, 1993
Summary：
【要約】【目的】本発明は、半導体ウエハを吸着したときの偏心量を測定する時間を短縮できて半導体ウエハの位置決めを効率よく簡単な構成で実現する。【構成】被検査体(1) が回転したとき、この被検査体(1) の縁部に配置された少なくとも2つの縁部検出手段(40a,40b) により被検査体(1) の縁位置が検出される。そして、この縁位置から吸着機構(22)の被検査体(1) に対する吸着位置の偏心量が位置決めの補正量として補正演算手段(50)により求められる。
Claim (excerpt)：
回転自在の吸着機構により被検査体を吸着保持し、この状態でこれら吸着機構及び被検査体を一体的に移動して前記被検査体を所定位置に位置決めする位置決め装置において、前記被検査体の縁部に配置された少なくとも2つの縁部検出手段と、前記被検査体が回転したときの前記各縁部検出手段により検出された前記被検査体の縁位置から前記吸着機構の前記被検査体に対する吸着位置の偏心量を位置決めの補正量として求める補正演算手段とを具備したことを特徴とする位置決め装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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