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J-GLOBAL ID：200903035229758873

マルチチャンバ型処理装置

Inventor： 吉田 安志
Applicant, Patent owner： 株式会社日立国際電気
Agent (1)： 梶原 辰也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999275624
Publication number (International publication number)：2001102424
Application date： Sep. 29, 1999
Publication date： Apr. 13, 2001
Summary：

【要約】【課題】 搬送ルート切換時の人為的ミスを防止する。【解決手段】 マルチチャンバ型CVD装置の新規ロットの投入に際して、搬送ルート判断部により搬送ルート判定シーケンスが実行される。S1で仕掛ロットのレシピ番号が記憶装置から読み出される。S2で新規ロットのレシピ番号と仕掛ロットのレシピ番号とが一致するかが判定される。一致した場合には搬送ルート判定シーケンスが終了する。一致しない場合にはS3で仕掛ロットのレシピ番号から搬送ルート照合テーブルが作成される。S4で新規ロットのレシピ番号を搬送ルート照合テーブルと照合して該当するレシピ番号が有るかを判定する。有る場合には搬送ルート判定シーケンスが終了する。無いにはS5で搬送ルート指定操作実行指令が発生され、S6で新規ロットの投入が待機される。【効果】 搬送ルートの相違による新規ロットの処理の誤りを防止できる。

Claim (excerpt)：

基板に処理を施す複数のチャンバと、前記基板を搬送する搬送装置と、前記各チャンバの処理および前記搬送装置の搬送を制御するコントローラとを備えているマルチチャンバ型処理装置において、前記搬送装置がこれから搬送しようとする新規の基板の前記複数のチャンバに対する搬送ルート情報と前記チャンバが現在処理している仕掛中の基板の搬送ルートとの相違を判断して出力する搬送ルート判断手段を備えていることを特徴とするマルチチャンバ型処理装置。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07

FI (2)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 Z

F-Term (11)：

5F031CA05 ,  5F031GA44 ,  5F031GA50 ,  5F031MA04 ,  5F031MA09 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031NA05 ,  5F031NA09 ,  5F031PA02 ,  5F031PA09